真空系统设计（真空泵阀门工作形式：挡板阀）

2.1.3.5挡板阀

图2-13所示是高真空挡板阀的结构形式,表2-7为高真空挡板阀阀门的基本参数与连接尺寸,高真空气动挡板阀也是其中的一种形式,如图2-14所示。该阀通过阀盖的开启和压下来实现管路的接通和截止。图中,压板23使阀板密封圈24固定于阀盖上。压板2将阀杆3与阀盖连为一体。上盖20与阀体22由密封圈21密封。压帽5和7分别压紧密封圈4和8,实现动密封。气缸盖11压紧密封圈10使气缸16的上部密封。气缸与气缸座17通过密封圈9密封。注油管18注入扩散泵油,以减小摩擦并帮助密封。压缩空气经进气管接头12首先通过加油器19,从加油器中出来的气体含有一定的真空泵油,再进入换向阀6,最后进入气缸,一方面润滑换向阀中的活塞,另一方面防止气缸内表面生锈。换向阀控制气源进入气缸上下部。密封垫片13、活塞胶圈14、活塞15,将气缸分为两部分,并移动于气缸之中,从而控制阀门的开闭。

图2-13 高真空挡板阀阀门

表2-7高真空挡板阀基本参数与连接尺寸

图2-15 所示为电磁高真空挡板阀的一种结构形式，表2-8给出了这种阀门的基本参数与连接尺寸。阀门的驱动形式为手动、气动和电动。超高真空挡板阀也是挡板阀的一种结构设计形式，如图2-16所示，表2-9为超高真空挡板阀基本参数与连接尺寸。

图2-14 高真空气动挡板阀

1—阀盖;2,23压板;3阀杆;4,8,9,10,21一密封圈;5,7一压帽;

6—换向阀;11一气缸盖;12一进气管接头;13密封垫片;14—活塞胶圈; 15—活塞;16一气缸;17一气缸座;18—注油管;19—加油器; 20上盖;22一阀体;24—阀板密封胶圈；

图2-15 电磁高真空挡板阀的结构形式 图2-16超高真空挡板阀的结构形式

表2-8 超高真空挡板阀基本参数与连接尺寸

注：流导为分子流状态下的理论计算值，不做验收依据。

表2-9 超高真空挡板阀基本参数与连接尺寸

来源：好凯德真空泵