无尘车间的防微振施工工艺流程及操作方法

一、施工工艺流程:

施工前期准备→确定设备以及平台安装位置→平台加工→平台搬运及组装→平台试验

二、施工前准备:

施工前的准备工作尤为重要，它关系到后面安装的精确程度。施工前对图纸进行认真解读和审核，防微振动平台一般采用不锈钢材料和镀锌材料制作。对加工件的要求很高，要求加工件精确到位，这样才能保证安装的一次性完成。

施工中应该注意以下几点：

根据平台大小、安装精度、劳动强度来配备所需人员，并理清楚个人员之间的劳作关系，制定组织结构，明确工作的内容和责任。针对平台安装进行技术交底，对进入洁净厂房施工作业的人员进行洁净室施工作业培训、安全教育。
人员配置完成后，分解图纸，统一规划。需要加工的零部件比较多，将图纸上的零部件编号，根据图纸，配置所需的机具，要使用大型加工机具的(如：电子数控机床等)，需与相应的协作单位联络，确定加工周期。

组装件连接方式尽可能以螺丝连接为主，因为洁净厂房内一般不采用焊接作业，而且洁净厂房里面设备比较多，整件不易搬运。

三、确定设备以及平台安装位置:

在前期的准备工作完成后，班组作业人员需要到洁净室内与工艺设备工程师一起确定设备的位置，并将平台相对应的位置确定好，做好标示。再将确定的位置用线锤反到地面或者格栅网板(也有称华夫板)上，做好标示。在右平台的位置确定平台立柱的位置，并核实其位置可使立柱稳固。
设备位置的确定以及反线的精确度要求控制在±1mm内，精度控制的越好，安装就会越准确。

作业中还应该注意，要遵守洁净厂房的规定，进入洁净室的材料必须是经过洁净处理的，图纸需要用洁净纸打印，并且用圆珠笔进行厂房里面的相关记录。在确定平台的立柱的位置时候要注意立柱所在的位置要能够让立柱稳固，这样才能承受设备的重量和震动。如果发现立柱的位置在格栅网板的边缘时，应该立即修改设计图纸，将所有的配件重新更改。在厂房内作业是应该做好安全警示，并有人专门看守地板掀开处，防止人员掉落地板下。在确定平台的搬入路径后，确定路线上的其他设备的保护措施，并提请采购材料。

四、平台加工:

平台加工是在前期的准备工作最为重要的一道工序，如果加工件有偏差，会给后面的安装环节带来非常大的影响，甚至于不能完成安装。立柱的材料一般采用镀锌钢管制作或者直接用工字钢制作，均需要精确加工。平台用的不锈钢钢板比较厚，而且平台上为了固定设备需要常要求加工不同形状的孔洞，所以外型的加工都是采用外加工。使用大型的激光切割机进行加工。需要外加工的工序还有“喷沙”和“加工件镀锌”。因为加工件比较零散、数量较多，所以需要在加工前进行清点，并且编上一图纸一致的编号加以区别。在加工过程中，数量比较多的部件需要制作模板，批量加工，提高加工的时效。

五、平台搬运及组装:

平台组装是在洁净室内操作完成，且要跟平台的加工材料的搬运相互配合，即搬运为了组装服务，而不是一味地将所有的材料搬运到洁净厂房内堆积起来。搬运之前将搬运通道上的设备、壁板等用预先准备好的铝板或者不锈钢板保护起来，避免搬运过程中对现有洁净设备和生产设备的损坏。平台组装区域预先用洁净塑料布与其他区域隔断，尽可能将施工过程中对原有洁净度的损害降到最低。

1. 拆除原来的活动地板:

保留地板的横担或者工字钢，不破坏原有活动地板的整体性和强度。将拆除的活动地板摆放整齐，不能损坏。将反线下来的平台的立柱线打孔，打孔时会产生灰尘，需要边打孔边用吸尘器将产生的灰尘吸除，避免污染厂房内的洁净环境。在打好的孔内灌入AB胶，粘上底座。

2. 安装时:

先固定中间的螺丝，使用水平尺将水平调整好，然后加灌AB胶，固化。固化时间需要12小时左右，其间需要间隔2小时检查一次底座的水平度。

3. 待AB胶固化完成后:

在底座上安装立柱，连接方式为丝扣连接，所有立柱的高度必须一致，即安装是使用经纬仪调整标高，误差控制在±0.5mm。

4. 在立柱上安装工字钢:

工字钢共分为两层，呈井字型布置。洁净厂房内不允许焊接操作，工字钢与立柱连接、工字钢与工字钢连接均为连接件连接，不采用焊接连接。安装完成后用水平尺复核水平度。注意，第二层工字钢的高度要大于活动地板原有横担或者工子钢，使平台与原有的活动地板分开；工字钢的长度要长于不锈钢板，有利与钢板的稳固，便于斜拉的安装；长出的工字钢在与原活动地板交叉处必须切口，保证其与原地板不接触。

5. 安装不锈钢板:

不锈钢板比较大，运输中一定要注意平稳，并做好地板、壁板和设备的保护措施。在工子钢中部涂抹适量AB胶，在AB胶凝固之前上不锈钢板。不锈钢板与工字钢的连接采用螺丝的连接方式，连接必须紧固，用水平尺复核水平度。

6. 将拆除的活动地板恢复:

在洁净室内将需要加工的地板量好尺寸，并做好标识。将地板取出洁净室，切割成需要的大小，去除毛刺。经过洁净处理后，安装地板，地板与平台的不锈钢板的间距控制在10mm为宜。

7. 使用斜拉加工立柱:

为了保证抗振效果以及立柱的牢固，需要在立柱上加设斜拉。两侧的斜拉一端与工字钢连接件连接，一端以螺丝连接的方式连接在粘接于地面或者格栅网板的立柱底座上(与立柱连接同样的方法)。中间段的斜拉一端固定在第一层工字钢上，一端固定在立柱低部。斜拉以纵向、横向相互配合来加固，用以消除各个方向的水平振动。

六、振动试验:

振动试验主要分三次试验：环境防微振动试验、人员步行试验和动态刚度试验。

需要说明的是：测试是可以用1/3的频谱分析频宽8~100HZ的振动植(dB值的参考速度值为10-6in/sec。加工尺寸参考电子制造业的线宽、医学和药学研究的粒子或者细胞尺寸等，所列数值是药学研究和精密设备的振动观察值。但本规范只是对一般设备的防微振动要求作参考，精密设备一般自身会对振动有要求。

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来源：丰磊环境