真空系统设计（高真空低电压电极引入结构）

真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接，组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些？

3.4 电输人密封连接

3.4.2.2 高真空低电压电极引入结构

高真空低电压电极引人结构常用于真空镀膜设备、真空冶炼炉、真空焊接炉及其他真空炉和各种真空蒸发(升华)装置上。其密封方式有两种:一种为金属封接-金属封接结构，用于超高真空系统中;另种是橡胶密 封结构用于高真空系统。

图3-97各 种结构形状的芯柱密封

(a)双导线平芯柱; (b) 6导线平芯柱; (c) 双单线和双多线的平芯柱;

(d) T形芯柱; (e) X形芯柱; (f) H形芯柱; (g) U形芯柱; (h) 0形芯柱

图3-98 销钉密封

(a)盘形; (b)杯形

A低电压小电流引入电极

低电压小电流引人电极结构如图3-99和图3- 100所示。

图3-99固定 型低电压小电流电极

1一电极杆; 2- 真空室体; 3- 锥形密封绝缘体;

4- 有机玻璃压盖;5-垫圈; 6-螺母; 7一压盖螺钉

图3-100插入型低电压小电流电极

1一 螺母; 2一固定螺母; 3-引入电极:

4-垫圈;5-绝缘套; 6-密封圈; 7-真空室体

B低电压大电流引入电极

图3-101 ~图3- 105所示为低电压大电流的电极密封结构。图3- 101 (a)所示为可转动式电极，图3-101 (b)、 (c) 所示为固定结构式引人电极。图3- 102所示为用于真空电炉的可升降和可倾斜式电极。图3-103所示为用于真空电炉的可移动式低电压大电流输人电极。图3- 104所示为真空电阻炉所用的接线挂式镍铬电加热大电流输人电极密封结构。为了防止大电流电极工作时产生过热现象，图3-103 ~图3- 105所示的电极结构中均设有水冷结构，供水和回水均在真空室外进行。

图3- 106和图3- 107所示电极结构为固定型低电压超大电流输人电极密封结构，其可承载的输人电流可达几千安培，适用于需要大功率电阻加热电输人的真空系统中。图3- 107所示为水冷式超大电流输人电极结构，其输人电流为4000A。

图3-101低电压大电流电极

图3- 102低电压大电流可 升降可倾斜电极

1-上传动支架; 2- 螺母; 3-垫; 4, 11, 13- 密封圈;

5, 12- -压环; 6- 弹簧; 7-托架(两半);8-倾斜球体;

9-胶木垫; 10-压盖; 14- 电极; 15-毡垫; 16- 螺钉; 17-炉盖

图3-103可 移动低电压大电流水冷电极

1-真空电炉盖; 2- 绝缘体; 3-真空密封圈:4- 密封圈支撑环;

5- 支撑环; 6-隔环; 7一压盖: 8一电极杆: 9-水冷密封座;

10一密封圈; 11-压环; 12- 螺母

来源：好凯德真空泵